拟批准环境评价报告书、表的项目

项目名称：

半导体设备真空腔体核心零部件精密涂层技术及年产300吨半导体材料设备更新升级项目

建设地点：

安徽省池州经济技术开发区金安园区金同路69号

建设单位：

安徽高芯众科半导体有限公司

环境影响评价机构：

安徽拓唯环境科技有限公司

受理时间：

2025年4月3日

项目概况：

对原半导体、面板再生、去膜车间进行全面设备更新改造升级，占地面积约2400平米，升级改造半导体Coating产线1条；升级改造半导体Copper制程与面板陶瓷清洗、Coating产线1条；淘汰落后生产工艺，淘汰老旧的电弧熔射、四联浸泡槽、清洗台、高压水刀、高压清洗机等生产设备，优化工作区域和工作环境，改建百级无尘室和千级无尘室，改电弧熔射设备为等离子涂层机器人系统；全面升级落后工艺及产能；在原晶纭公司搬走车间，占地面积约1600平方，升级扩建一条高纯氧化铝粉体生产线一条；升级扩建氧化铝基及氧化钇精密涂层粉体生产线一条；项目达产后实现年产高纯氧化铝粉体及氧化铝基及氧化钇精密涂层粉体300吨，其中氧化铝粉体100吨，氧化铝基及氧化忆精密涂层粉体200吨（粉体生产线分期建设）。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施：

（一）切实加强全厂废气收集、处理系统设计建设和维护管理。生产过程酸碱废气经通风柜收集，由管道接入现有四级洗涤塔处理系统处理后通过1根15m高排气筒（DA001，依托）排放；现有喷砂区待喷部件调整为含砷部件，废气经车间密闭收集，通过袋式除尘器处理后由1根15m高排气筒（DA009，依托）排放；新增半导体自动喷砂废气经车间密闭负压收集，通过袋式除尘器处理后由1根15m高排气筒（DA012）排放；新增4套等离子喷涂设备，每套等离子喷涂均经车间密闭负压收集，均通过单独的袋式除尘器处理后由15m高排气筒（DA013、DA014、DA015、DA016）排放；高纯氧化铝粉体喷雾造粒废气经设备密闭收集，通过冷凝+袋式除尘器+二级活性炭吸附处理后由1根15m高排气筒（DA017）排放；氧化铝基喷涂粉喷雾造粒废气经设备密闭收集，通过冷凝+袋式除尘器+二级活性炭吸附处理后由1根15m高排气筒（DA018）排放。

废气中颗粒物、NOX、氯化氢、氟化氢有组织排放执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297—1996）中限值要求，砷及其化合物与碱雾有组织排放执行上海市地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB31/933—2015）中限制要求，有机废气有组织排放执行安徽省地方标准《固定源挥发性有机物综合排放标准第5部分：电子工业》（DB34/4812.5—2024）中排放限值要求。排气筒出口应按规范安装采样平台、监测采样孔。严格控制无组织排放，加强各区域和设备的密闭性。厂界废气须满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准限值。

（二）本次项目不新增生活污水，按照“清污分流、雨污分流、分类收集、分质处理”的原则设计、建设和使用厂区排水系统。拟建项目涉及废水主要是含氟废水、酸碱废水、含砷废液和一般清洗废水，4种废水分类收集。含氟废水与酸碱废水收集后分别预处理，处理后与一般清洗废水混合后再次处理，处理后进入中水回用系统，清水回用，浓水排到入电子信息污水处理厂。含砷废水经单独处理系统处理回用，不外排。

生产废水执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1中间接排放标准及电子信息污水处理厂接管标准。

（三）优先选用低噪声设备，合理布置高噪声设备，对高噪声设备采取基础减振、隔声、消声等降噪措施，高噪声设备尽可能远离噪声敏感区。厂界噪声应满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准限值。

（四）固体废物处理处置应遵循“减量化、资源化、无害化”的原则，对固体废物的产生、运输、贮存、处理和处置实施全过程控制。破损匣体外售耐火材料综合利用，等离子喷涂除尘灰、一般更换布袋、一般废砂等收集后暂存于公司现有一般固废间，再由有处理能力的单位合理利用或处置；含砷废砂、含砷布袋、含砷除尘灰、废活性炭等危废暂存公司现有2座危废库后委托有资质单位处置。项目危废暂存间应按《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求建设与管理。危险废物规范化管理应按照原环境保护部《关于印发危险废物规范化管理指标体系的通知》（环办〔2015〕99号）要求强化管理，特别是临时贮存、转运等环节的防治措施。生活垃圾收集后交环卫部门统一处置。

公众参与情况：

建设单位或地方政府所作出的相关环境保护措施承诺文件：

听证权利告知：

依据《中华人民共和国行政许可法》，自公示起五日内申请人、利害关系人可对以下拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证。

公众反馈意见的联系方式

办理部门：

经开区生态环境局

受理地点：

经开区管委会

联系电话：   

2124459

电子邮箱：

1226704674@qq.com